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關(guān)鍵詞:光刻技術(shù);圖像處理;自動調(diào)焦
中圖分類號:TP317.4文獻標識碼:B
Auto-focus Base on Semiconductor Photo Lithography
WANG Peng,YANG Yong-yue,LI Qi-de
(School of Instrument Science and Opto-electronic Engineering,Hefei
University of Technology,Hefei230009,China)
Abstract:This paper has provided auto-focus method of semiconduct photo lithography on Digital Image Processing ,using arithmetic of digital image processing realize auto-focus .The result of experiment indicate that this method can achieve.
Keywords:lithography;image processing;auto focus
引言
光刻技術(shù)是半導(dǎo)體工業(yè)的核心、半導(dǎo)體行業(yè)前進的原動力,光刻技術(shù)每前進一步都會大大促進半導(dǎo)體技術(shù)的提升,半導(dǎo)體技術(shù)的每一次革命都是由新一代光刻機的問世引起的。從經(jīng)濟、國家安全角度來說,半導(dǎo)體技術(shù)對我們國家尤為重要:有了自己的芯片加工技術(shù)可以省去很多外購芯片和其他一些配件的資金;同時自身通訊的安全性也大為提高。自動調(diào)焦是半導(dǎo)體光刻技術(shù)中必要的一部分,在晶圓(wafer)對準過程中和后續(xù)曝光(explore)中都發(fā)揮著巨大作用。圖1是曝光過程中離焦位置和不同曝光量對光刻效果的影響圖,同時也是機器視覺、數(shù)字圖像處理的重要一環(huán)。
1工作原理
光學光刻分辨率的提高帶來焦深的急劇減少,從而要求嚴格控制曝光圖形的表面與光刻物鏡的高度,減少調(diào)焦誤差,適應(yīng)十分有限的焦深。國外的光刻機采用的調(diào)焦技術(shù)有自動調(diào)焦傳感器、激光干涉儀等。本實驗采用工業(yè)CCD和非感光波段的照明光源對曝光表面采集圖像(如圖2),硅片(wafer)被吸盤(chuck)吸附與平臺(satge)固定在一起。移動垂直方向的平臺,通過CCD采集圖像,然后采用自動對焦算法計算非感光波段的焦點,最后給出感光波段與非感光波段的對焦偏移量,達到感光波段的焦點實現(xiàn)準確曝光。
對焦精度和重復(fù)性的要求:實驗中選用工業(yè)CCD,選用尼康放大倍數(shù)為20X、焦深1.8mil的物鏡。為了取得最好的曝光效果,必須使曝光位置處于焦深以內(nèi)(圖1中的Best Focus),即調(diào)焦后的位置在焦點±0.9mil范圍內(nèi)。
1.1自動調(diào)焦算法分析
通常使用的自動調(diào)焦算法有灰度梯度函數(shù)、頻域函數(shù)(基于傅立葉變換)、信息學函數(shù)和統(tǒng)計學函數(shù)。頻域要做復(fù)雜的數(shù)學變換,耗時較長;信息學和統(tǒng)計學函數(shù)做出的判斷不穩(wěn)定,經(jīng)常把非焦點判斷為焦點,而將焦點判斷為非焦點;灰度梯度函數(shù)具有穩(wěn)定、單峰、速度快的優(yōu)點。所以這里采用灰度梯度函數(shù)作為自動調(diào)焦的評價函數(shù)。所謂灰度梯度函數(shù)就是利用一幅圖像自身的對比度(圖形的邊緣的尖銳程度)來判斷圖像的清晰程度。
1.2圖像清晰度與邊緣特征的關(guān)系
邊緣是圖像最基本的特征之一。所謂邊緣是指其周圍像素灰度有階躍性變化或屋頂變化的像素的集合。它存在于目標與背景、目標與目標、區(qū)域與區(qū)域之間。當系統(tǒng)成像清晰時,邊緣點處的灰度階躍性變化就大,不同灰度區(qū)域間的界線就清楚。當成像不清晰時,邊緣點處灰度階躍性變化小,不同灰度區(qū)域連成了一片,造成圖像模糊。利用邊緣點處灰度階躍變化的程度來評價圖像的清晰度具有直觀性,不用再去考慮成像系統(tǒng)的特性。
1.3灰度梯度函數(shù)
這類函數(shù)主要利用對圖像灰度的各種處理方法來表征圖像清晰度. 假設(shè)圖像某點(x, y) 處的灰度梯度值為g(x, y) , 每種算法所對應(yīng)的g(x,y)不同,本實驗采用SOBEL算法和KRISCH算法。
1.3.1Sobel算法
兩個卷積形成sobel邊緣檢測算子(圖3),圖像中每個像素都用這兩個核作卷積,一個核對垂直邊緣影響最大,另一個對水平邊緣影響最大。兩個卷積的最大值作為該點的輸出值g(x,y).數(shù)學表達如下:
Gx=C(x-1,y+1)+2*C(x-1,y)+C(x-1,y-1)-
C(x+1,y+1)+2*C(x+1,y)+C(x+1,y-1)
Gy=C(x-1,y-1)+2*C(x1,y-1)+C(x+1,y-1)-
C(x-1,y+1)+2*C(x1,y+1)+C(x+1,y+1)
g(x,y)=max(Gx,Gy),其中Gx為水平邊緣影響,Gy為垂直邊緣影響,C(x,y)為點(x,y)處的灰度值。
1.3.2Krisch算法
8個卷積核形成了Krisch邊緣檢測算子(圖4),圖像中的每個像素都用這8 個掩模進行卷積,每個掩模都對某個特定邊緣方向作出最大響應(yīng),所有8個方向的最大值作為該點的輸出值g(x,y)。清晰度的評價函數(shù)選擇灰度梯度平方和■■x■y(g(x,y))■。
2實驗數(shù)據(jù)
實驗中的對焦圖形選擇垂直線條,用CCD采集wafer上的線條成像,其圖形如圖5 所示。
分別選取Sobel算子和Krisch算子作為評價函數(shù)的核,采用灰度平方和■■x■y(g(x,y))■評價函數(shù)。在不同離焦位置上的像,每隔100nm 采集一幅圖像,在離焦位置前后共采集600幅圖像,最后再用評價函數(shù)進行評價,得到Sobel評價函數(shù)的曲線(如圖6所示)和Krisch評價函數(shù)的曲線(如圖7所示)。
由曲線可以看到,Sobel和Krisch的清晰度評價函數(shù)曲線幾乎沒有噪聲的影響;滿足了對焦穩(wěn)定性、單峰性的需求,且在正焦位置呈現(xiàn)最大值。
半導(dǎo)體光刻中對對焦重復(fù)性的要求很高,為此做了重復(fù)性實驗。在焦點附近處(±10mil)反復(fù)對焦實驗,重復(fù)性曲線如圖8所示。計算標準差為111nm,3 sigma小于400nm;滿足對焦后的點在焦深1.8mil以內(nèi)的要求。
3結(jié)論
本文根據(jù)數(shù)字圖像處理的方法,設(shè)計了基于半導(dǎo)體光刻技術(shù)的自動對焦實驗。實驗結(jié)果表明,采用圖像處理方法可以實現(xiàn)快速、高精度的自動對焦。
參考文獻
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半導(dǎo)體制冷,即為熱電制冷,主要經(jīng)通電后出現(xiàn)冷量而制冷的方式。隨著半導(dǎo)體制冷理論的完善,使得半導(dǎo)體材料的性能不斷完善。所以,被較多的領(lǐng)域所應(yīng)用。和以往傳統(tǒng)制冷的方式進行比較,半導(dǎo)體制冷可實現(xiàn)無機械傳動和無制冷劑,能有效的轉(zhuǎn)變制冷、制熱的效果,進而對半導(dǎo)體溫度進行嚴格的控制。
1 半導(dǎo)體制冷技術(shù)在動力電池熱管理中的應(yīng)用
動力電池熱管理可以說是汽車動力電池系統(tǒng)的重要組成部分,具有提升電池壽命、改善電池性能與安全的效果,在電動汽車整車熱管理中占據(jù)重要部分。目前,關(guān)于動力電池熱管理的相關(guān)研究已經(jīng)取得一定的研究成果,而其中半導(dǎo)體制冷技術(shù)的應(yīng)用,有效提升了動力電池熱管理的效果本節(jié)對汽車動力電池系統(tǒng)熱管理中應(yīng)用半導(dǎo)體制冷技術(shù)的效果做淺要分析。
1.1 構(gòu)建動力電池熱管理系統(tǒng)總體流程
結(jié)合動力電池熱管理的目的,對動力電池熱管理系統(tǒng)流程進行設(shè)計,具體流程圖如圖1示。
1.2 分析半導(dǎo)體制冷技術(shù)在動力電池熱管理系統(tǒng)中的應(yīng)用
在動力電池熱管理系統(tǒng)中,電池內(nèi)熱環(huán)境的調(diào)控主要通過三個系統(tǒng)部分實現(xiàn),分別是加熱系統(tǒng)部分、保溫系統(tǒng)部分和冷卻系統(tǒng)部分,而冷卻系統(tǒng)的散熱模式通常包含自然冷卻、強制風冷、強制液冷三種,均采用半導(dǎo)體熱電堆與不同散熱方式結(jié)合而形成冷卻系統(tǒng),利用半導(dǎo)體制冷原理來實現(xiàn)動力電池熱管理中的系統(tǒng)冷卻功能。半導(dǎo)體制冷主要是通過利用珀爾帖效應(yīng)實現(xiàn)的,圖2半導(dǎo)體制冷的原理圖。
通過空穴在半導(dǎo)體電場作用下運動實現(xiàn)熱能與勢能之間的轉(zhuǎn)換,從而形成熱電堆的熱端與冷端,熱端通過與翅片散熱器連接,采取風冷、液冷與自然冷卻形式,實現(xiàn)制冷功能。在動力電池熱管理中應(yīng)用這種半導(dǎo)體制冷方式,有效的利用了半導(dǎo)體制冷中無需制冷劑、無污染、體積小、無機械傳動、重量輕、無噪音、冷卻速度快的優(yōu)勢。結(jié)合不同散熱方式,可實現(xiàn)車動力電池溫度環(huán)境的調(diào)控,有效冷卻環(huán)境溫度,從而滿足動力電池熱管理的需求。比如磷酸鐵鋰電池,根據(jù)需要,采用半導(dǎo)體熱電堆與風冷散熱方式結(jié)合,有效的將環(huán)境溫度降低到-20℃~60℃,調(diào)節(jié)速度快,效果好,符合現(xiàn)代動力電池熱管理的冷卻要求。
2 動力電池熱管理中應(yīng)用半導(dǎo)體制冷技術(shù)的實驗驗證
在動力電池熱管理中采用半導(dǎo)體制冷技術(shù),可通過半導(dǎo)體制冷原理實現(xiàn)對動力電池環(huán)境的溫度調(diào)節(jié)與控制。本節(jié)進行分析動力電池冷卻系統(tǒng)中采用的半導(dǎo)體制冷技術(shù)與傳統(tǒng)直接風冷方式效果的對比試驗,來探究半導(dǎo)體制冷技術(shù)在動力電池熱管理中的應(yīng)用價值。
2.1 實驗的主要設(shè)備
實驗的設(shè)備主要包括:TEC電池模塊和充放電設(shè)備、直流風扇,以及直流穩(wěn)壓電源、恒溫烘干箱、溫度記錄設(shè)備、風速儀、T型熱電阻等。
2.2 實驗的主要方式
設(shè)置實驗對照組,以傳統(tǒng)直接風冷電池組模塊作為對照對象,以半導(dǎo)體制冷技術(shù)應(yīng)用的電池組模塊作為研究對象,風冷模塊一般多使用12V/0.18A的直流風扇。以加裝于模塊外殼的正面,上開口為半封閉結(jié)構(gòu),風速設(shè)置為1.0m/s。TEC模塊常用的型號為TEC1-12705,屬于半導(dǎo)體熱電堆制冷設(shè)備,聯(lián)合翅片、風扇可經(jīng)溫度進行合理的管理。電池組模塊實行正面開孔工作,應(yīng)合理的嵌入半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),將模塊設(shè)置為全封閉的結(jié)構(gòu),以此確保模塊電池散熱效果,并保證在短時間得到溫度的控制。實驗的階段,經(jīng)編寫充放電對程序、模塊實行控制,進而實現(xiàn)不同倍率的放電效果。將兩個模板實行恒流充電、恒壓充電,充電的電流達到7A的時候,充電截止電流應(yīng)設(shè)置為350mA。靜置時間為60min,電池模塊達到環(huán)境溫度的時候,需實行模塊的恒流放電。針對兩個模塊實行45℃高溫恒溫的放電測試,放電的倍率應(yīng)設(shè)置為3C,放電截止電壓應(yīng)在2.0V的范圍內(nèi)。
2.3 實驗的結(jié)果與結(jié)論
經(jīng)過實驗測試,在45℃高溫條件下完成TEC模塊與風冷模塊的放電測試,測試結(jié)果如圖3所示。觀察圖3數(shù)據(jù)變化可知,隨著電池環(huán)境溫度的逐漸升高,TEC模塊的平均溫度始終比傳統(tǒng)風冷模塊溫度低,而在1680秒與1609秒時,風冷電池模塊溫度與TEC電池模塊的溫度分別達到最大值,溫度分別是52.3℃和51.2℃。而達到最高溫度后,兩組電池組的溫度均開始降低,但TEC組的降溫速率明顯比風冷模塊組更高。這說明TEC電池模塊的散熱效果更好,在動力電池放電運行過程中,TEC模塊這種應(yīng)用了半導(dǎo)體制冷技術(shù)的電池組溫度冷卻效果更加明顯。由此可見,在動力電池熱管理中應(yīng)用半導(dǎo)體制冷技術(shù),能夠更加有效的實現(xiàn)對電池溫度的調(diào)控,滿足電池熱管理需求。
3 總結(jié)
動力電池熱管理在汽車動力電池管理中具有重要作用,而半導(dǎo)體制冷技術(shù)的應(yīng)用則有效提升了動力電池熱管理的效果,在制冷冷卻方面取得較大的優(yōu)勢。本次研究通過分析半導(dǎo)體制冷技術(shù)的應(yīng)用情況,結(jié)合實驗驗證方式,分析了半導(dǎo)體制冷技術(shù)在動力電池熱管理中的應(yīng)用效果,研究結(jié)果證明半導(dǎo)體制冷技術(shù)相比傳統(tǒng)風冷具有更好的降溫冷卻效果,值得推廣應(yīng)用。
參考文獻
關(guān)鍵詞 虛擬儀器;LabVIEW;半導(dǎo)體測試;傳統(tǒng)儀器
中圖分類號 TN3 文獻標識碼 A 文章編號 1674-6708(2016)166-0225-02
半導(dǎo)體測試伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)品從研發(fā)設(shè)計到生成加工的整個過程,其測試內(nèi)容涉及Wafer測試、電氣測試、良品率測試、封裝測試、FT測試等,其測試結(jié)果直接關(guān)系到半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和半導(dǎo)體企業(yè)的成本,因此半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中非常重要的組成部分。
同時,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和半導(dǎo)體產(chǎn)品性能的不斷提升對相應(yīng)的半導(dǎo)體測試方法提出了更高的要求,其測試系統(tǒng)需要不斷地升級和改進,其測試人員需要推出新的測試方案或開發(fā)升級補丁。由于虛擬儀器技術(shù)在測試領(lǐng)域的強大優(yōu)勢,將其擴展性強、軟硬件無縫集成、性能強的特點與半導(dǎo)體測試系統(tǒng)相結(jié)合將會具有廣泛的應(yīng)用前景,本文提出了一種將虛擬儀器技術(shù)的優(yōu)勢應(yīng)用在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)當中的測試方法。
1 半導(dǎo)體測試的特點
1.1 半導(dǎo)體測試在產(chǎn)品成本中所占比重越來越大
半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)每日有巨大的芯片數(shù)量有待測試[1],巨大的數(shù)量就帶來了巨大的測試壓力。而且每一塊芯片從晶圓、光刻、摻雜、切片、封裝等多個工藝過程進行加工,由于工藝過程極其精細和復(fù)雜,在每一個測試節(jié)點都需要進行測試,對那些測試不合格的芯片不再進行下一環(huán)節(jié)的加工處理,這就需要大量的員工協(xié)同工作,這又會給半導(dǎo)體企業(yè)帶來巨大的設(shè)備投入和人員成本。隨著芯片性能的不斷提高,芯片不但要完成信號的計算處理和存儲功能,還要有濾波、通信、數(shù)模混合的功能,復(fù)雜高性能的芯片對測試系統(tǒng)的要求會更高,由此導(dǎo)致半導(dǎo)體企業(yè)在測試系統(tǒng)的研發(fā)和設(shè)計上會投入更多的成本費用[2]。
1.2 國內(nèi)半導(dǎo)體測試服務(wù)還存在很多不足
全球半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展到今天,測試已經(jīng)成為產(chǎn)業(yè)鏈中獨立的、不可缺少的一環(huán),而對于剛剛提速的國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)來說,測試服務(wù)是一個薄弱環(huán)節(jié),雖然國內(nèi)有外資企業(yè)設(shè)立的測試機構(gòu),但其測試服務(wù)只針對外資企業(yè)本身,而國內(nèi)的測試服務(wù)公司大都不是從大生產(chǎn)企業(yè)分離出來的,而是白手起家,因此在經(jīng)驗上缺少積累,很多測試生產(chǎn)過程的管理、質(zhì)量控制手段等關(guān)鍵技術(shù)還需要向國外的測試公司學習[3]。國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)品測試不可能完全依賴外資企業(yè),發(fā)展自己的半導(dǎo)體測試服務(wù)已經(jīng)刻不容緩。
2 虛擬儀器與傳統(tǒng)儀器的比較
虛擬儀器是信息技術(shù)大發(fā)展的背景下產(chǎn)生的,特別是計算機科學對傳統(tǒng)儀器行業(yè)帶來的沖擊和碰撞,它是儀器技術(shù)與計算機技術(shù)深層次的融合。虛擬儀器比較于傳統(tǒng)儀器,基本的操作面板和測試功能是一樣的,除此之外,虛擬儀器還擁有傳統(tǒng)儀器所不具備的特殊優(yōu)勢。
2.1 靈活的軟硬件結(jié)合,節(jié)約測試成本
虛擬儀器的出現(xiàn)改變了原先傳統(tǒng)儀器硬件固定化的局限,允許測試人員根據(jù)實際測試情況靈活地選擇儀器的軟硬件,這樣做的優(yōu)勢是模塊化的硬件在不同的組織搭配下,可以完成多個測試任務(wù),從而大大地節(jié)省了硬件成本。例如,同樣的虛擬儀器硬件結(jié)合不同的應(yīng)用程序軟件,既可以監(jiān)視和記錄這個電機的功率,又可以測量電機的運行位置。由此,隨著任務(wù)的增加和時間的疊加,虛擬儀器累積節(jié)約的成本會越來越多。
傳統(tǒng)儀器會有適用范圍極限,在適用范圍滿足不了測試任務(wù)的情況下,就需要更換性能更高的測試儀器,這種做法會讓儀器功能重疊且浪費成本。虛擬儀器硬件具有很高的性能,當有主流計算機相關(guān)的新技術(shù)出現(xiàn)時,只需要更換虛擬儀器有關(guān)的部件即可,能夠享受到計算機飛速發(fā)展帶來的紅利。
2.2 虛擬儀器技術(shù)擴展性強且應(yīng)用廣泛
虛擬儀器采用模塊式結(jié)構(gòu),以儀器的功能特點劃分為許多通用的模塊,基本的形式有輸入、輸出、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理等模塊,對于不同的測試任務(wù)可以選擇不同的通用模塊組建一臺相應(yīng)的虛擬儀器,如果想提高測試系統(tǒng)的性能或者改變測試任務(wù),可以方便地更換或者加入某幾個通用模塊,這些模塊都可以通過軟件驅(qū)動程序在軟件開發(fā)環(huán)境里調(diào)用起來,從而避免了儀器的重復(fù)購置。這樣做的好處是:不但測試組件簡化,而且拓寬了測試應(yīng)用領(lǐng)域。
2.3 與傳統(tǒng)儀器完全兼容
虛擬儀器不但可以搭載自身的硬件模塊,其軟件平臺還提供了一些第三方函數(shù)庫,通過總線連接函數(shù)庫可以跟傳統(tǒng)儀器通信。除此之外,許多傳統(tǒng)儀器廠商也會提供一個接口函數(shù),通過驅(qū)動程序可以連接到傳統(tǒng)儀器,它相當于一個儀器接口,每一個驅(qū)動程序就是它獨特的功能儀器接口,配合獨特的驅(qū)動程序,傳統(tǒng)儀器就可以在虛擬儀器軟件平臺上完全兼容[4]。由此,測試用戶可以根據(jù)自身的情況,將虛擬儀器和傳統(tǒng)儀器結(jié)合使用,使其身邊擁有的資源合理高效地使用起來。
3 虛擬儀器技術(shù)在半導(dǎo)體測試中的應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展促進半導(dǎo)體測試的飛速前進,將計算機技術(shù)與傳統(tǒng)儀器結(jié)合的測試方法運用在半導(dǎo)體測試領(lǐng)域當中,不但可以發(fā)揮虛擬儀器本身的優(yōu)勢,還能使用到計算機技術(shù)強大的數(shù)據(jù)處理與分析能力,同時,將測量記錄方式從模擬調(diào)整到數(shù)字,使得半導(dǎo)體產(chǎn)品的測試速度更快、準確度更高[5]。
3.1 半導(dǎo)體測試系統(tǒng)功能設(shè)計
半導(dǎo)體測試涉及范圍較廣、實現(xiàn)的功能復(fù)雜,測試系統(tǒng)的功能實現(xiàn)之后還要進行分析和統(tǒng)計處理,測試系統(tǒng)設(shè)計以滿足半導(dǎo)體測試的自動化和快速化為目的,這就需要測試系統(tǒng)研發(fā)和設(shè)計人員對測試對象和測試過程充分地了解,選擇合適的虛擬儀器功能硬件和開發(fā)相應(yīng)的應(yīng)用軟件以滿足相應(yīng)的需求,半導(dǎo)體測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖如圖1所示。
如圖1所示,虛擬儀器應(yīng)用軟件在很大程度上決定了半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的功能,所以要完善軟件系統(tǒng)設(shè)計,注意軟件的實用性、可靠性及運行穩(wěn)定性。
3.2 測試系統(tǒng)人機界面設(shè)計
測試系統(tǒng)最終是要服務(wù)于人的,好的人機界面設(shè)計會帶來一個好的用戶體驗,不但要有測試系統(tǒng)所要求的功能,還應(yīng)該考慮到軟件的易用性和美觀。一般測控系統(tǒng)會碰到測試量龐大、控制量多、測試流程復(fù)雜的測試任務(wù),再利用計算機對一些數(shù)據(jù)進行分析和處理,這時,合理的設(shè)計菜單,就會讓多種子界面在主界面完成調(diào)用,實現(xiàn)了在一個用戶界面里使用到測試系統(tǒng)不同的功能模塊。除此之外,更不能忽略測試用戶的操作習慣,設(shè)計軟件交互動作時,太復(fù)雜的操作會讓測試用戶感到疲倦,太簡單的操作會讓用戶覺得缺少信息,所以合理的提示信息是必要的,分層、分級、分事件的交互處理方式會讓交互軟件變得更友好,合理的軟件界面顏色搭配也會促進測試人員與交互軟件之間的交流。
3.3 測試數(shù)據(jù)分析與處理
虛擬儀器的優(yōu)勢之一就是可以利用計算機技術(shù)強大的功能,例如,搭載互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、計算機本身的數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)處理功能等,而半導(dǎo)體測試領(lǐng)域需求最多的測試系統(tǒng),都是為了驗證產(chǎn)品的性能參數(shù),針對不同的測試對象,所關(guān)心的性能參數(shù)千差萬別,但是都可以應(yīng)用相關(guān)專業(yè)的計算方法得到性能參數(shù)的結(jié)果,隨后判定參數(shù)的優(yōu)劣以進行下一個環(huán)節(jié)。
最后,產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)管部門對測試結(jié)果還可以進行數(shù)理統(tǒng)計分析,得到半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量的分布曲線,判斷出半導(dǎo)體產(chǎn)品是否存在質(zhì)量問題,查找和分析可以改進的生產(chǎn)環(huán)節(jié),努力提高半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量。
4 結(jié)論
本文提出了一種將虛擬儀器技術(shù)的優(yōu)勢應(yīng)用在半導(dǎo)體測試系統(tǒng)當中的測試方法,半導(dǎo)體測試人員不但能夠靈活的自定義與測試任務(wù)相關(guān)的儀器功能,還能夠簡化測試系統(tǒng)組件以節(jié)約成本,同時,結(jié)合計算機技術(shù)強大的數(shù)據(jù)處理與分析能力,還能夠使其半導(dǎo)體產(chǎn)品的測試速度更快、準確度更高。值得注意的是,虛擬儀器應(yīng)用軟件在很大程度上決定了半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的功能,這就需要測試系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計人員充分了解測試對象和測試過程,注意測試系統(tǒng)的實用性、可靠性及運行穩(wěn)定性。
參考文獻
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[關(guān)鍵詞]公路施工 技術(shù)管理 常見問題 解決辦法
中圖分類號:TU71 文獻標識碼:TU 文章編號:1009914X(2013)34010501
一、加強公路施工技術(shù)管理的重要意義
公路技術(shù)管理是指以合同條款和技術(shù)范圍為依據(jù),按照一定的組織系統(tǒng),同時依照規(guī)定的程序使用各種有效以及使用的辦法,讓最終的工程質(zhì)量達到特定的指標,滿足設(shè)計的要求,實現(xiàn)設(shè)計目的的一系列管理活動。公路技術(shù)管理是一種與技術(shù)數(shù)據(jù)、技術(shù)文件和技術(shù)保障相關(guān)的管理性活動。其重大意義在于,公路施工技術(shù)管理與人們的生活,社會經(jīng)濟的發(fā)展都有著非常密切不可分割的重要關(guān)系。因此,重視公路施工技術(shù)管理對施工企業(yè)的嚴格要求,是對人們生命財產(chǎn)安全的保障,對國家經(jīng)濟發(fā)展建設(shè)的負責。
二、公路施工技術(shù)管理工作的主要內(nèi)容及實施原則
公路施工技術(shù)管理工作主要立足于保證施工過程中的技術(shù)秩序,并且要為當前的生產(chǎn)提供服務(wù)。同時還要為施工企業(yè)的技術(shù)儲備以及以后項目的施工打下堅實的基礎(chǔ),其中包括技術(shù)管理制度、檔案管理、技術(shù)培訓(xùn)、圖紙會審、編制施組、技術(shù)交底、安全技術(shù)、“四新”技術(shù)開發(fā)應(yīng)用等。通常我們可以從業(yè)內(nèi)和業(yè)外兩個方面分類,業(yè)內(nèi)是指制定技術(shù)管理制度,完善技術(shù)標準規(guī)范規(guī)程,崗位技術(shù)的培訓(xùn)以及技術(shù)檔案的管理;業(yè)外則是指施工前技術(shù)的準備,施工過程中技術(shù)的實施以及施工技術(shù)方面的更新。施工技術(shù)管理實施原則則是指要講究從企業(yè)的實際情況與需求出發(fā),正確地貫徹國家和地方規(guī)定的技術(shù)政策、規(guī)范和規(guī)程,同時要實行按科學規(guī)律以及實事求是的原則。對于“四新”技術(shù)的應(yīng)用推廣要堅持通過試驗鑒定的原則,所有的施工技術(shù)工作都要全方面地考慮到其經(jīng)濟效益狀況,合理的擇優(yōu)選擇,日常的技術(shù)管理工作和生產(chǎn)實踐過程緊密的結(jié)合。
三、抓好施工技術(shù)管理工作是促進公路工程施工質(zhì)量提高的關(guān)鍵
公路施工技術(shù)管理包括一系列的管理工作,例如對放線技術(shù)的管理,對常見技術(shù)問題的管理,對施工測量技術(shù)的管理,對施工過程技術(shù)參數(shù)的管理等等。通過這些技術(shù)管理,公路施工企業(yè)可以對公路工程的施工質(zhì)量實施間接地管理,對公路工程的施工狀況起到監(jiān)督的作用,確保公路施工企業(yè)的施工質(zhì)量符合相關(guān)的標準要求。例如,公路施工企業(yè)在對瀝青路面實施攤鋪時,可以參照相關(guān)的設(shè)計方案或者是試驗路段鋪設(shè)報告等對瀝青路面攤鋪的厚度、除壓噸位、壓實溫度以及復(fù)壓噸位等相關(guān)的技術(shù)參數(shù)進行科學化控制,從而使這些技術(shù)參數(shù)符合相關(guān)的技術(shù)要求或者是符合相關(guān)的技術(shù)標準,從而對這些技術(shù)實施科學合理的管理對公路瀝青路面施工質(zhì)量的提高具有非常重要的意義。雖然在路面施工管理上按技術(shù)標準施工,但也難免會出現(xiàn)的以下問題。
四、公路施工技術(shù)管理中遇到的問題
1、安全問題:幾乎在所有的施工現(xiàn)場,我們都會看到很多關(guān)于安全第一、安全生產(chǎn)的宣傳語,現(xiàn)場管理人員也經(jīng)常參加各種安全生產(chǎn)培訓(xùn),但是大多數(shù)的安全管理僅僅終止于口頭上,沒有落實到施工過程中,正因為這種形式安全主義導(dǎo)致施工現(xiàn)場安全事故頻發(fā)。還有就是一些企業(yè)的高層管理人員為了獲得更多的利潤,千方百計降低施工成本,只在工地上設(shè)置以一些必須的、表面的安全生產(chǎn)設(shè)備,沒有提前做好對于緊急事故的預(yù)警方案,導(dǎo)致施工現(xiàn)場對惡劣天氣的抵抗能力差。
2、材料管理問題:對于公路工程建設(shè)一般情況都需要大量的施工材料,但是種類卻不多。很多企業(yè)把買來的材料隨便堆在施工現(xiàn)場,也不派專門人員對材料進行看管,哪個地方需要材料就直接到堆放材料的地方取,也不進行詳細登記。這種粗放式的材料管理方式,會導(dǎo)致材料的丟失和極大地浪費,長遠來看就是帶來公路建設(shè)成本的增加,降低建設(shè)生產(chǎn)效益。
3、質(zhì)量問題:公路建設(shè)項目驗收的關(guān)鍵就是看質(zhì)量,同時高質(zhì)量的施工項目也可以提高企業(yè)在業(yè)內(nèi)的聲譽。然而,目前有些企業(yè)的管理人員缺乏長遠眼光,只關(guān)注眼前利益,在施工過程中摻雜一些不合格的施工材料或者在施工過程中偷工減料的現(xiàn)象仍然存在。在工程驗收的時候通過不正當手段瞞天過海,這就導(dǎo)致一些公路通車不久便發(fā)生塌陷、地面炸裂,也就是通常的“豆腐渣”工程。
五、改進這些常見問題的方法
1、科學采購和管理材料:很多施工企業(yè)經(jīng)過初步估算發(fā)現(xiàn),在公路施工建設(shè)過程中,材料費用占到所有工程造價的60%~70%,可見材料管理對于低耗工程的重要作用。材料管理包括很多內(nèi)容:首先,在公路工程施工之前,企業(yè)應(yīng)該聘請預(yù)算專家對這項工程要消耗的材料數(shù)量分類進行預(yù)算,然后派本公司采購人員對市場所有材料供應(yīng)商的資料和價格進行全面調(diào)查,然后按照預(yù)算一次性把所需材料按照規(guī)格、型號購買回來,盡量降低材料的采購費用;最后,準備一個足夠大的存放材料的倉庫并且要安排專人看管材料,嚴格按照工程的進度發(fā)放材料,材料的發(fā)放必須做好詳細記錄以便于工程后期對材料的使用進行跟進調(diào)查,以此來盡最大程度避免材料的浪費。
2、機械組合的調(diào)整:采用機械化的施工措施可以有效地降低成本,保證進度、提高質(zhì)量。由于受進度、天氣等方面的影響,在施工過程中,現(xiàn)場管理者必須適時改變機械組合,保證機械組合的持續(xù)相對穩(wěn)定。當機械的使用數(shù)量發(fā)生變化時,對機械施工的組織調(diào)整必須注意:加強機械的統(tǒng)一調(diào)配,始終保持機械的最佳組合,提高機械的使用率;根據(jù)進度計劃、質(zhì)量要求和機械的生產(chǎn)能力選擇主導(dǎo)機械,留有適當?shù)挠嗔?;組織維護、搶修小組應(yīng)對緊急情況,備存關(guān)鍵配件,做定期的維護,及時有效的排除故障,確保公路工程的施工正常進行。
3、加大信息技術(shù)在現(xiàn)場施工管理中的應(yīng)用:信息技術(shù)是企業(yè)利用科學力法對經(jīng)營管理信息進行收集、儲存、加工、處理,并輔助決策的技術(shù)的總稱施工公路企業(yè)應(yīng)根據(jù)以上信息化的特征,結(jié)合施工管理的實際情況,制定戰(zhàn)略計劃,充分利用現(xiàn)代信息技術(shù),逐步建立各類施工管理信息系統(tǒng)計算機技術(shù)的應(yīng)用反映了信息技術(shù)的應(yīng)用水平,而信息技術(shù)的應(yīng)用提高了施工管理的水平此外,現(xiàn)場施工如何適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)的優(yōu)化管理理論、力法、手段,研究和處理管理中的各種問題,是管理工作符合深化改革的重要內(nèi)容運用現(xiàn)代工業(yè)化的管理理論、力法、手段、研究和處理管理中的各種問題,使管理工作符合規(guī)律并臻于完善.是現(xiàn)場指揮人員必須研究的課題。
結(jié)語:公路工程現(xiàn)場施工技術(shù)的管理對整個施工工程起到非常重要的作用。它主要體現(xiàn)的是是施工企業(yè)的整體管理水平,體現(xiàn)出施工企業(yè)的管理體制和施工能力的表現(xiàn)。施工現(xiàn)場管理的優(yōu)劣也是有著重要的社會意義的,在公路施工現(xiàn)場管理中,是否有序、整齊、合理都會影響到施工的進度,所以施工現(xiàn)場的管理工作就是整個工程的核心問題?,F(xiàn)場施工管理的好壞,是工程施工活動可否順利進行的關(guān)鍵因素,所以,當代的施工企業(yè)對于施工的現(xiàn)場管理要具有實事求是,與時俱進的管理面貌,要加強對工程管理的措施,不斷提高工程質(zhì)量和效益。
參考文獻
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關(guān)鍵詞:煙道式燃氣熱水器 CE認證 煙道式燃氣熱優(yōu)勢
中圖分類號:TK16 文獻標識碼:A 文章編號:1674-098X(2014)11(c)-0022-01
“CE”是一種安全認證標志,被視為制造商打開并進入歐洲市場的護照。CE代表歐洲統(tǒng)一(CONFORMITE EUROPEENNE)。凡是貼有“CE”標志的產(chǎn)品就可在歐盟各成員國內(nèi)銷售,無須符合每個成員國的要求,從而實現(xiàn)了商品在歐盟成員國范圍內(nèi)的自由流通。在現(xiàn)如今多樣化的燃氣熱水器市場,燃氣熱水器的種類日趨增多,海外市場燃氣熱水器行業(yè)的競爭也日益激烈。想要打開和擴大海外市場,對產(chǎn)品的質(zhì)量以及性能提出了更高的要求。針對歐洲市場絕大部分家用電器需要通過歐洲標準的CE認證,所以我們的產(chǎn)品滿足歐洲標準勢在必行。
煙道式燃氣熱水器作為眾多出口型燃氣熱水器的一種,有它自身的優(yōu)勢。工藝技術(shù)方面非常成熟,價格低廉。根據(jù)市場部的調(diào)查分析報告,煙道式燃氣熱水器目前在國內(nèi)外仍有大量的用戶,今后仍會有一定的市場份額。所以我們做了一系列工作設(shè)計研發(fā)CE型煙道式燃氣熱水器。
隨著燃氣熱水器在人們生活中的普及,燃氣熱水器的一些缺點也逐漸的顯現(xiàn)出來。燃氣熱水器在使用時,燃氣燃燒所產(chǎn)生的一氧化碳和氮氧化物對人體都有較大危害。室內(nèi)環(huán)境空氣中的一氧化碳濃度達到一定值時,可使人中毒死亡;而氮氧化物與人體血液中血色素的親和力約為CO的數(shù)百倍,使人因缺氧而引起中樞神經(jīng)麻痹、痙攣等癥狀。另一方面,在熱水器使用過程中,室內(nèi)可能會流入一定量的可燃體,遇到明火發(fā)生著火或者爆炸。所以控制燃氣熱水器CO排放量變得尤為重要。
由于升數(shù)越大,燃燒負荷越大,燃燒產(chǎn)物中CO的含量也越難控制,所以煙道式燃氣熱水器不宜將升數(shù)做得過大,特別是對于高標準的CE型機。該文中的研究模型為11 L煙道式燃氣熱水器。
與國內(nèi)燃氣熱水器標準相比,CE標準對煙道式燃氣熱水器提出了更高的要求,其中最為重要的包括以下幾方面。
(1)正常工作時,煙氣只允許從煙道中排除,不允許有漏煙的現(xiàn)象發(fā)生。
(2)倒灌風時,保證煙氣中的CO含量不能超過1000 ppm。
為了解決這兩大難點問題,針對傳統(tǒng)的煙道式燃氣熱水器做出了較大的技術(shù)改進,主要改進為煙罩的結(jié)構(gòu)。
(1)要求煙氣只從煙道排除。那么燃氣燃燒后產(chǎn)生的煙氣只能集中從煙管方向排放,所以需要在適當?shù)奈恢迷黾訐醢逡龑?dǎo)煙氣的流向。
(2)要求倒灌風時,煙氣中CO含量不能過高。
我們首先分析倒灌風這種惡劣的環(huán)境中煙道式燃氣熱水器所受到的影響。
在風由煙道倒吹入煙罩中時,我們設(shè)想不做任何處理,熱水器在工作時火焰燃燒的過程中,受到與燃燒勢相反方向的風壓,必定會影響燃燒,火焰甚至會被吹熄,燃氣得不到充分的燃燒會產(chǎn)生大量的有毒氣體,威脅使用者的生活環(huán)境甚至生命安全。所以必須采取相應(yīng)的措施減少倒灌風對燃燒的影響。
我們對煙罩的結(jié)構(gòu)做了處理,在原煙罩的基礎(chǔ)上增加可以阻擋外界進風的擋板。關(guān)鍵在于倒灌風時煙罩最下端處的風壓為零或者為負壓,那么我們認為這種狀態(tài)下火焰的燃燒受到倒灌風的影響最小。
當然在增設(shè)防倒風擋板的時候不能影響熱水器煙氣的排出,否則煙氣聚集在煙罩中也會使CO超標。所以擋板的相對位置變得非常重要,既要滿足倒風時燃燒的正常進行,又要滿足煙氣能順利排出,同時,還要保證正常燃燒時沒有漏煙。
倒風時煙罩中氣體的流動較為復(fù)雜,我們經(jīng)過反復(fù)的試驗驗證,調(diào)整擋板的相對位置以及擋板的外形尺寸,最終得到的煙罩結(jié)構(gòu)。倒灌入煙罩的風通過擋板導(dǎo)流后分流從上下?lián)醢辶鞒觯瑹熣峙c燃燒器部裝邊界處的風速為零;煙氣經(jīng)過擋板的分流也從同樣的位置流出。
經(jīng)過測試,在倒灌風風速要求為3 m/s以及1 m/s時,我們可以將煙氣控制在500mmp以內(nèi),滿足CE標準要求。
在測試的過程中發(fā)現(xiàn),熱交換器部裝的結(jié)構(gòu)對煙氣的影響也不容忽視,在正常燃燒時,煙氣中CO含量很低,大概在100以內(nèi),而在倒灌風時,可能達到幾千。除了煙罩的結(jié)構(gòu)起主導(dǎo)作用以外,熱交換器集熱片的數(shù)量和結(jié)構(gòu)對煙氣也有影響。由于在倒灌風過程中,煙氣排放受到阻礙,而熱交換器的集熱片對煙氣也存在一定的阻礙作用,如果集熱片數(shù)量過多,幫助換熱的翻邊孔數(shù)量過多,都會使煙氣中CO含量升高。所以熱交換器集熱片的數(shù)量以及翻邊孔不宜過多,當然為了保證熱水器的效率也不宜過少,需要滿足效率的前提下盡量減少集熱片和翻邊孔的數(shù)量。
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半導(dǎo)體論文 半導(dǎo)體制造技術(shù) 半導(dǎo)體技術(shù) 半導(dǎo)體技術(shù)培訓(xùn) 半導(dǎo)體教育 紀律教育問題 新時代教育價值觀